Questões de Química da FUNRIO

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Defina o termo stripping para litografia.

Quais as principais causas das ondas estacionárias nos fotorresistes?

Que fenômenos podem ocorrer no fotorresiste negativo após a exposição?

Quais as funções das curas no processamento do fotorresiste positivo, sotbake, PEB e hardbake respectivamente:

Para verificar erros de alinhamento em dispositivos, podem ser utilizados dispositivos

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