Quais as funções das curas no processamento do fotorresis...

Questão Q113421

2012 FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO)

Química Geral

Prova: Concurso Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC - Analista Administrativo Área Engenharia Elétrica (ETEA - FOTOLI) - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) do ano 2012 • Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC

Quais as funções das curas no processamento do fotorresiste positivo, sotbake, PEB e hardbake respectivamente:

A Amolecimento do fotorresiste, uniformização da área exposta, endurecimento do fotorresiste. B Amolecimento do fotorresiste, exposição do fotorresiste, endurecimento do fotorresiste. C Uniformização da camada, endurecimento do fotorresiste, interrupção da revelação. D Refluxo do fotorresiste, evaporação do solvente e inibição do foto-ácido. E Evaporação do solvente e ativação do foto-ácido, refluxo do fotorresiste e inibição do foto-ácido com estabilização do fotorresiste.

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