Questões de Engenharia Eletrônica da FUNRIO

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A oxidação térmica do silício tem como finalidade

I – formar máscaras que impedem a implantação iônica e a difusão de dopante no silício (Si).

II – auxiliar na conexão de circuitos, dada a alta condutividade do dióxido de silício (SiO2).

III – a passivação da superfície do wafer.

Assinale a alternativa correta.

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