141
Q413553
Em processo RIE, com aumento da potência de gerador:
142
Q413551
Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é necessário:
143
Q413550
Anisotropia em processos de corrosão por plasma é consequência de:
144
Q413548
Temperatura dos elétrons no plasma é maior em qual descarga?
145
Q413546
Na corrosão tipo RIE (reactive ion etching), o efeito sinergético aparece por causa de interação de que fatores?
146
Q413545
Maior anisotropia na corrosão de Si por plasma é obtida em misturas de gases com inclusão de gases:
147
Q413543
Maior seletividade em processos de corrosão de SiO2 em comparação com Si, é obtida com misturas de gases incluindo:
148
Q413541
Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada breakthrough?
149
Q413539
Para detecção do ponto final de corrosão de lâminas de Si pela espectroscopia ótica, são utilizados sinais de emissão de radicais presentes no plasma:
150
Q413537
Qual a principal aplicação de plasmas na microeletrônica?