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Vácuo é essencial em muitas etapas da fabricação de um ci...

#Questão 426129 - Engenharia Física, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Vácuo é essencial em muitas etapas da fabricação de um circuito integrado. Com relação às tecnologias de vácuo empregadas nos diversos processos de microfabricação NÃO é correto afirmar que

A) a redução de pressão procura garantir transporte de massa sem espalhamento na deposição de filmes finos por evaporação térmica.

B) nos processos a plasma a pureza química desse depende do pré-vácuo efetuado na câmara de processo.

C) a composição do gás residual em um sistema de vácuo depende do tipo de bombas utilizadas.

D) bombas iônicas são muito eficientes ao bombear gases inertes.

E) bombas difusoras a óleo e bombas turbo-moleculares se baseiam no mesmo princípio para reduzir a pressão em uma câmara.

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