Vácuo é essencial em muitas etapas da fabricação de um ci...

A a redução de pressão procura garantir transporte de massa sem espalhamento na deposição de filmes finos por evaporação térmica. B nos processos a plasma a pureza química desse depende do pré-vácuo efetuado na câmara de processo. C a composição do gás residual em um sistema de vácuo depende do tipo de bombas utilizadas. D bombas iônicas são muito eficientes ao bombear gases inertes. E bombas difusoras a óleo e bombas turbo-moleculares se baseiam no mesmo princípio para reduzir a pressão em uma câmara.