A crescente integração de componentes nos circuitos integ...

A as máscaras fotolitográficas para essa tecnologia tem de ser necessariamente de quartzo. B o processo tem de ocorrer em atmosfera inerte. C a óptica de projeção usada nesse processo é baseada em materiais de gap largo, como o fluoreto de lítio. D a fonte de luz adequada é lâmpada de Xe de alta pressão. E a resolução é limitada mais pela geração de fotoelétrons e elétrons secundários no resiste, que pelo limite de difração.