Imagens de microscopia eletrônica de varredura são muito...

A O contraste entre as estruturas de composição química diferente pode ser evidenciado com o uso de imagem de elétrons retroespalhados. B Nas energias típicas do feixe (10-30keV) as camadas dielétricas do circuito se tornam praticamente transparentes e o efeito de carregamento é desprezível. C Topografia pode ser evidenciada inclinando-se a amostra em relação ao feixe. D Raios-x característicos são gerados no volume de interação do feixe, e permitem uma análise química com sua detecção. E Circuitos integrados podem ser danificados pelo feixe de elétrons do microscópio.