Uma técnica metrológica de grande importância em microfab...

Questão Q426147

2012 FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO)

Prova: Concurso Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC - Analista Administrativo Área Engenharia Física (ETEA - PESDES) - FUNRIO Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência (FUNRIO) do ano 2012 • Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC

Uma técnica metrológica de grande importância em microfabricação é a microscopia de força atômica. Com relação ao uso dessa ferramenta em microeletrônica NÃO se pode afirmar o seguinte:

A Medidas com resolução de profundidade de até 0,01nm são possíveis. B AFM é usada para medir a rugosidade da superfície de wafers de Si. C A interação da sonda com a amostra pode danificar tanto a amostra quanto a sonda. D As sondas tem elevadíssima razão de aspecto, o que permite obter imagens de objetos nanométricos. E A resolução lateral é limitada pelo mecanismo piezoelétrico de varredura.

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