A corrosão por plasma é um dos processos subtrativos util...

A A corrosão por plasma permite que espaços sub-micrométricos possam ser atacados, os quais não seriam atingidos por via úmida devido à tensão superficial das soluções de ataque. B A corrosão por plasma permite um melhor controle do processo que a corrosão úmida, pois pode ser iniciada e encerrada com mais facilidade. C A pulverização catódica (sputtering) é um mecanismo físico de erosão sempre presente na corrosão por plasma, independente da pressão e dos tipos de gases presentes no plasma. D A corrosão por plasma de íons reativos (RIE) é altamente seletiva e anisotrópica. E Defeitos são criados na superfície do substrato para energias dos íons do plasma tão baixas quanto 4 eV.