O processo de fotolitografia é essencial para a fabricaçã...

A Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip. B Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz. C Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida. D Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips. E A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.