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O processo de fotolitografia é essencial para a fabricaçã...

#Questão 413771 - Engenharia Elétrica, Microeletrônica, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No escopo da fotolitografia qual das afirmativas abaixo é a correta?

A) Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip.

B) Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz.

C) Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida.

D) Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips.

E) A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.

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