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O tipo de reator de deposição química melhorada por plasma (PECVD) utilizado para obter um processamento de substratos com diâmetros maiores que 200 mm
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Leia atentamente as afirmativas abaixo. I – O plasma pode ser caracterizado por fluorescência de raios-X. II – A espectrometria de emissão ótica é uma técnica de caracterização de plasma baseada na emissão de fótons característicos pelo plasma. III – A espectrometria de emissão ótica possibilita a quantificação de espécies ativas e a medida da temperatura dos elétrons, dentre outras medidas possíveis. Assinale a alternativa com a(s) afirmativa(s) correta(s).
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Quando se diz que determinado campo da metrologia tem como objetivo principal a proteção do consumidor por meio do tratamento das unidades de medida, métodos e instrumentos de medição de acordo com as exigências técnicas e legais obrigatórias, está se referindo à
