Considere dois feixes incidentes distintos – um de elétro...

A tanto os feixes de íons quanto o de elétrons penetram profundamente em amostras com elementos de elevado número atômico. B os feixes de íons penetrarão mais profundamente que o de elétrons, independente da amostra, devido a sua maior quantidade de movimento. C os feixes de íon atravessam completamente qualquer tipo de amostra. D devido as suas maiores dimensões, os íons têm maior probabilidade de interação com átomos da amostra, o que impede que os íons penetrem profundamente a amostra. E em consequência de seu tamanho e de sua energia, uma maior quantidade de raios-X é emitida por uma amostra quando bombardeada por um feixe de íons, comparando-se com a mesma amostra bombardeada por um feixe de elétrons.