Entre os sinais produzidos na interação do feixe com o material, um tipo particularmente importante para estudos analíticos que é gerado quando os elétrons altamente energéticos do feixe interagem com os elétrons das camadas orbitais do átomo, é (são):
os raios X.
os elétrons de espalhamento inelástico.
os elétrons Auger.
o feixe incidente.
os elétrons secundários.
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