As coberturas antirrefletoras (ARC) em fotolitografia são...

#Questão 113413 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

As coberturas antirrefletoras (ARC) em fotolitografia são utilizadas para

A) reduzir as ondas estacionárias em fotorresistes.

B) reduzir a dose do UV nos fotorresistes.

C) diminuir a espessura dos fotorresistes.

D) reduzir a sensibilidade dos fotorresistes.

E) atuar como filtros de UV em fotorresistes.

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