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Quando o feixe de elétrons incide sobre uma amostra, os elétrons dos átomos são excitados, mudando de níveis energéticos. Ao retornarem para sua posição inicial, liberam a energia adquirida na forma de ondas com comprimento de onda no espectro de raios-X. Um detector instalado na câmara de vácuo do Microscópio Eletrônico de Varredura mede a energia associada a esse fóton. Como a energia emitida no decaimento dos elétrons é característica para cada elemento químico, é possível, no ponto de incidência do feixe, determinar quais os elementos químicos presentes naquela área. A técnica descrita acima corresponde a de