Os processos de produção desenvolvidos pela área de Micro...

A exclusivamente, os efeitos do tratamento que não penetram mais do que 100Å. B exclusivamente, a rapidez da modificação. C os efeitos do tratamento que penetram mais do que 100Å e a rapidez da modificação. D exclusivamente, a minimização dos problemas associados ao descarte de produtos químicos gerados pela utilização de soluções aquosas em microeletrônica. E os efeitos do tratamento que não penetram mais do que 100Å, a rapidez da modificação e a minimização dos problemas associados ao descarte de produtos químicos.